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        當前位置:首頁產品中心實驗室常規儀器合肥科晶VTC-100PA真空旋轉涂膜機
        真空旋轉涂膜機

        產品簡介

        VTC-100PA真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。

        產品型號:VTC-100PA
        更新時間:2026-01-06
        廠商性質:經銷商
        訪問量:1524
        詳細介紹在線留言

        VTC-100PA真空旋轉涂膜機

        產品概述:

        VTC-100PA真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。

        主要特點:                    

        • 真空吸附方式固定樣件,操作簡便。
        • 使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動或飛片。
        • 根據樣件規格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡單。
        • 設有12組程序,每組包含6個運行階段。
        • 電機啟動快速穩定,可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。
        • 50W/24V 直流電機
        • 適于在Ar氣環境中工作(真空泵放置在手套箱外)

        參數:

        • 電機功率:50W/24V
        • 速度范圍:500-10000rpm
        • 程序運行:可儲存12組程序,每組程序包含6個運行階段
        • 增減速率設置范圍:100rpm/s-2000rpm/s
        • 時間范圍:0-60s
        • 吸盤:Φ19mm、Φ60mm

        進氣口:上蓋有一個直徑6mm的進氣口可將需要的氣體通入腔體,實現在氣氛環境下旋轉涂覆

        可選加熱部分:上蓋內部增加紅外燈管加熱,采用K型熱偶測溫,數字溫控器控溫,高120℃,可使得樣品涂覆后原位烘干,用于薄膜太陽能電池等研究。

        產品規格:

        • 尺寸:450mm×280mm×340mm;
        • 重量:20kg

         

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