4006-635-996,010,69200960
產(chǎn)品簡介
沈陽科儀高真空磁控濺射薄膜沉積系統(tǒng)--TRP450真空室結構:圓筒形前開門真空室尺寸:φ450x400mm極限真空度:≤6.6E-6Pa沉積源:永磁靶3套，2英寸，可以向上濺射或向下濺射。樣品尺寸，溫度:φ4英寸，1片，最高800C占地面積(長x寬x高):約1米x1.8米x2米電控描述:全自動工藝:片內(nèi)膜厚均勻性:≤3%
產(chǎn)品分類
高真空磁控濺射薄膜沉積系統(tǒng)--TRP450
真空室結構:圓筒形前開門
真空室尺寸:φ450x400mm
極限真空度:≤6.6E-6Pa
沉積源:永磁靶3套，2英寸，可以向上濺射或向下濺射。
樣品尺寸，溫度:φ4英寸，1片，最高800C
占地面積(長x寬x高):約1米x1.8米x2米
電控描述:全自動
工藝:片內(nèi)膜厚均勻性:≤3%
特色參數(shù):
產(chǎn)品概述：
本沉積系統(tǒng)可用于制備光學薄膜、電學薄膜、磁性薄膜、硬質(zhì)保護薄膜和裝飾薄膜等，工藝性能穩(wěn)定、模塊化結構，采用行業(yè)的軟件控制系統(tǒng)。
設備用途：
可廣泛應用于大專院校、科研院所的薄膜材料的科研項目。
用戶評價：
TRP-450高真空鍍膜機其設備質(zhì)量過關，功能齊全，性能穩(wěn)定，自動化程度高，抽氣極速平穩(wěn)，電源穩(wěn)定可靠，氣路流暢密閉，鍍膜質(zhì)量平整光滑，均勻致密，結合力強，且系統(tǒng)操控智能，便捷，可滿足科研實驗與生產(chǎn)制造的需求，是一款優(yōu)秀的磁控濺射鍍膜系統(tǒng)。——北京石墨烯技術研究院有限公司 李老師
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